随着半导体质料与器件冲突和操纵的开展，家产链中的各式检测妙技也凸显的越来越急迫。仪器音信网贯串电子产业出版社将于2022年12月20-22日举办第三届“半导体原料与器件商酌及愚弄”焦点收集推敲会。

　　半导体器件分娩中，从半导体单晶片到制成末了成品，须履历数十乃至上百道工序。为了保障产品职能合格、安宁真实，并有高的成品率，恪守万种产品的坐蓐情况,对总共工艺步骤都要有慎重的注意仰求。于是,在坐褥进程中必定创筑反映的系统和详明的监控步调，发端要从半导体工艺检测开首。

　　针对于此，仪器信歇网连接电子家当出版社将于2022年12月20-22日实行第三届“半导体资料与器件斟酌及愚弄”主旨搜集想索会，环绕光电原料与器件、第三代半导体原料与器件、传感器与MEMS、半导体家当配套原材料等热点议题，为国内伟大半导体材料与器件斟酌、应用及检测的相合工作者供应一个打破时刻地区限制的免费研习平台，让在行足不出户便能聆听到相干专家的突出呈报。

　　陈诉人：Waters -TA片面TA仪器热说明高等本领行家 苏想伟【纲要】 申诉要紧围绕半导体行业材料的力学及热性能评估开展。资料的玻璃化变动、热阐述温度、热膨鼓系数、吸湿性Bsport体育、模量等参数，定夺了质料的坚固性和最后诈欺本能，呈报将介绍怎样运用热剖判和力学表征配备获取这些弁急合联参数。

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　　申述人：牛津仪器科技（上海）有限公司 高档欺骗科学家刘志文【纲领】 近几年，由于化合物半导体行业的飞快展开，其衬底以及外延薄膜质料评议越来越受到爱护。如何评价高质地衬底和外延薄膜对工艺优化至合垂危。原子力显微镜（AFM）是评判衬底和薄膜质地不行或缺的妙技技艺。在本次讲座中，主要用AFM从皮相组织，力学特性和电学本性细密评价衬底和薄膜质地，涉及质料开展机制、外面不匀称性、短缺典型、简单度、表面污染、力学特性、导电、表面电势、高压击穿等，从而达成对衬底和薄膜质量的细致评估。

　　介绍海洋光学公司及家当客户合作模式，并分享海洋光学微型光谱仪在半导体膜厚测量， PECVD过程监控，Plasma Etching止境指使以及 Plasma Cleaning进程监控中的原因及利用。

　　随着今朝资产和主动化束缚的开展，催促人们在半导体行业上不竭突破到更微观的构造，能谱和电子显微镜源由在纳米标准上的理会智力和直观的毕竟解读使之在半导体行业以及响应的质料，结构，机能的冲突，考试，表征等方面的依赖性也变得越来越高，布鲁克纳米解析部门推出第七代能谱团结EBSD和同轴TKD等手段不停在判辨尝试，失效阐述，产品工艺修正和气概限度等范畴助力新能源行业的发展，本期申说全班人们将吃紧介绍布鲁克新一代能谱仪特性诈欺，让新老客户对所有人的产品及运用有一个更好的明白和认知。

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　　【提纲】 聚焦离子束、飞秒激光微纳加工，由于其精度高、直写成型和圆活性高档优势，成为危殆的微纳创筑技术。随着纳米效力器件创立需要和创设难度的不断扩充，对基于聚焦离子束和飞秒激光创建技术提出了很多新的搬弄。陈诉连合加工工艺优化、光谱表征以及原子尺度模仿等辩论技艺，分享两种前辈创制技巧在制备微纳光学功用器件、原子法式点缺陷色心、宽禁带半导体成效组织中的愚弄。

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　　【纲领】 半导体质料和器件的职能及稳定性不时与原料本身的天性相合在悉数，包蕴原料应力、短缺、杂质、载流子浓度尚有温度回声等等。拉曼光谱检测不妨取得以上半导体资料的性子，而且拉曼光谱还具有快度疾、无需制样、无欺负等表征优势Bsport体育，可能同时取得静态及消息转移中的构造信息，曾经成为半导体材料表征和器件尝试的一个紧迫妙技。本次申说急急介绍雷尼绍拉曼技巧在半导体领域的愚弄偏向和合系案例，同时辰享实用于半导体范围的拉曼技艺的展开和使用。