三台Hitachi（日立）钨灯丝电镜，分别是日立-钨灯丝电镜-SU 1510（配备能谱仪EDS）、日立-钨灯丝电镜-3400N（配备能谱仪EDS）和日立-钨灯丝电镜-FlexSEM1000（配备能谱仪EDS）。

　　扫描电镜，全称为扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM），SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。

　　扫描电镜的分类主要是根据其电子枪的种类来分的，电子枪的必要特性是亮度要高、电子能量散布 (Energy Spread) 要小，目前常用的电子枪有钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯b体育丝、场发射三种，不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异半导体。

　　钨灯丝扫描电镜是使用最普遍的扫描电镜，以热发射 (Thermionization) 式来发射电子，电子能量散布为 2 eV，钨的功函数约为4.5eV，钨灯丝系一直径约100μm，弯曲成V形的细线，在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小，使用寿命约为40~80小时。

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　　（1）．金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析。

　　（3）．机械零部件、电子元器件失效分析。（4）．粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定。

　　分辨率高，放大倍数范围广，可以从几倍到几十万倍，连续可调，便于寻找缺陷并建立微观形貌和宏观形貌之间的联系；景深大，有很强的立体感，适于观察像断口那样粗糙的表面；加配能谱仪和波谱仪后b体育，可同时进行成分分析。

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