b体育TEM(Transmission Electron Microscope, 透射电子显微镜) 具有较高的分辨率是半导体失效分析领域最常用的仪器之一,其以高能电子束作为光源,用电磁场作透镜,将经过加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子和样品中的原子因碰撞改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关半导体,因此可以形成明暗不同的影像。TEM的一个突出优点是具有较高的分辨率,可观测极薄薄膜的形貌及尺寸。
(1)材料范围:除磁性材料之外的任何无机材料,包括粉体b体育、薄膜和块材;不适用于有机和生物材料。
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