“人类历史上只出现了两次工业革命，第一次是机械化时代，第二次是数码智能时代，当前处于第二次工业革命的高潮，‘超人时代’即将到来”“这是一个全球化的产业，关起门发展是不行的”“越是产业下行期越要加大投资”……8月9日至11日，第十一届中国电子

　　多位嘉宾表示，智能化时代，半导体是核心基础，半导体制造对设备的需求，催化了以微观加工为核心的微器件工业，即半导体设备产业。中国已成为全球半导体产业最大市场，但设备和耗材短板明显，也意味着成长空间极大半导体。中微公司、拓荆科技、富创精密、凯世通（万业企业子公司）等多家半导体公司掌门人纷纷表示，将直面挑战、抢抓机遇。

　　董事长兼CEO尹志尧在主题演讲中，重新定义了工业革命。尹志尧划分工业革命的理论是：工业就是“制造东西”，只有在制造的方式上有根本的变化，才能称之为工业革命半导体。在某个时期开发出有伟大变革性的重要产品，并不能称为工业革命。

　　尹志尧认为，第一次工业革命是机械化时代，以机械代替人手，催生了宏观加工为核心的传统工业。第二次工业革命是数码智能时代，以电脑替代人脑，以微观器件代替人的各种感官，催生了以微观加工为核心的微器件工业。

　　“当前处于第二次工业革命的高潮，到2035年数码产业的产值将超过全球企业总产值的50%。”尹志尧表示，在数码智能时代，半导体微观加工设备是数码产业的基石，又是先行者和制高点。

　　微观材料包括化学薄膜、物理薄膜b体育、单晶EPI（外延）等，微观加工工艺则包括光刻、等离子体刻蚀、CMP（化学机械抛光）等，由此诞生了薄膜设备、外延设备、光刻机、等离子体刻蚀机、CMP等一系列的半导体微观加工设备。

　　“国内晶圆厂投资加大，半导体设备、材料及零部件等供应链环节重要性凸显。”华润微执行董事、总裁李虹表示，2022年全球半导体产业销售额5741亿美元，中国半导体产业达到1855亿美元，占比约32%。中国已成为全球半导体产业最大市场，但设备和耗材短板明显，也意味着成长空间极大。

　　“我们也能做好微观器件加工工业。”尹志尧强调。他给出的数据显示，CCP等离子体刻蚀机、ICP等离子体刻蚀机、PECVD设备、LP、ALD设备、PVD设备、CMP设备、ECP设备、光学检测设备、电子束检测设备、MOCVD等11类半导体设备，都是由中国留学生领衔或作为骨干开发出来的。

　　“今后50年到100年，人类将进入第三次工业革命‘超人时代’。”尹志尧认为，从智能化时代到“超人时代”，以超人代替人，将催生生命科学/数据技术集成的电生工业。

　　“创新驱动、技术演进、应用牵引。”复盘半导体产业发展的驱动力，执行董事、总裁李虹表示，自1994年起，全球半导体市场销售额跌宕起伏，但大趋势就是一路向上，预计到2030年将突破万亿美元规模。

　　李虹认为，全球半导体产业从2022年第二季度开始出现环比下降，今年第二季度出现了环比提升的迹象；预计本轮产业周期正处于探底阶段，结合需求复苏、库存消化节奏等因素观察b体育，产业有望于今年第四季度实现环比增长。

　　随着新一轮产业周期景气向上，半导体设备材料零部件将迎来更大的市场规模，也面临新的挑战。

　　中国电子工业协会副秘书长，华大半导体有限公司、上海积塔半导体有限公司董事、总工程师李晋湘介绍，当前，本土设备进入大生产线还存在以下瓶颈：一是设备无法提供，处于空白，如光刻、量测、失效分析等设备；二是已有设备，但不满足特殊工艺要求，如特殊材料生长和去除等设备；第三，设备和工艺都可以提供，但关键工艺成熟度不够，影响晶圆厂良率。

　　在当天同步举行的2023半导体制造技术与设备材料董事长论坛上，多家上市半导体设备公司董事长表示，将抢抓机遇，加快发展。

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　　“这是一个全球化的产业，关起门发展是不行的。”董事长吕光泉强调，半导体设备产业一定要开放、合作。注意到后摩尔时代的Chiplet等新工艺需求，已经研制了两款混合键合设备，包括晶圆对晶圆键合产品和芯片对晶圆键合表面预处理产品，主要应用于晶圆级三维集成领域。

　　作为国产半导体设备零部件平台型公司，董事长郑广调，越是产业下行期越要加大投资，加快招募优秀人才。面对挑战，凯世通董事长李勇军则表示，要活下去、活得好，就必须加大创新。

　　李虹表态，充分发挥IDM商业模式垂直一体化优势，积极支持本土设备、材料的验证，牵引产业链上下游发展。