今年是长三角一体化发展战略实施五周年，也是一体化示范区建设四周年。为全面贯彻落实习对长三角一体化发展和示范区建设的重要讲话和指示批示精神，推动示范区实现高质量发展，不断探索示范区业界共治模式，吸引更多优质市场资源参与示范区建设、赋能示范区发展，2023年长三角生态绿色一体化发展示范区开发者大会暨全链接大会将于7月31日在上海青浦召开。青浦区融媒体中心今起推出《跨域一体·开放共赢》专栏，带领大家深入直观感受青浦在一体化制度创新和重大项目建设上的成果，彰显现代化枢纽门户和新时代幸福青浦城市新形象~

　　近年来，青浦聚焦数字产业创新集群建设，做足产业升级发展大文章，吸引众多优质科技创新企业落户发展，成为持续打响“长三角数字干线”品牌的生动实践。半导体产业是数字经济的核心，也是物联网、人工智能、车联网等新型产业发展的基础，拥有巨大的增长前景。座落于青浦的上海精测半导体技术有限公司，始终专注于提高集成电路产业能级，坚持不懈进行技术研发投入，积极打造集成电路产业发展的重要研发、设计和制造基地，为“长三角数字干线”注入新活力。

　　半导体前道量检测设备是半导体制造产业的基础之一，亦是亟待突破解决的难题。上海精测半导体技术有限公司于2018年7月成立，致力于开发半导体前道制程量检测手段及设备，拥有先进的电子束/离子束成像、光谱分析量测、光学干涉测量技术手段，为客户提供制程管控优化和良率提升的解决方案。目前已开发薄膜厚度量测、关键尺寸量测、有图形晶圆检测、电子束检测等多类别产品。经过五年的发展，公司主要技术平成了数款量检测设备的开发、通过国内头部客户验证，并且在电子束领域自主开发了半导体制程工艺缺陷全自动检测、晶圆缺陷自动识别与分类等核心技术，技术实力达到业内先进水平。

　　为适应目前快速发展的需要，上海精测在上海市西软件园建设精测半导体全球研发总部和装备制造基地b体育，占地55亩，于2023年1月落成并投入使用。此外，上海精测半导体技术有限公司依托母公司精测电子，在平板显示检测领域取得优秀的市场地位，提高相关专用设备产品在半导体市场的竞争力，旨在将公司打造成为国内领先的半导体前道量检测设备供应商。

　　人才是半导体行业发展的核心驱动力，半导体技术的研究开发离不开高素质、专业化人才。上海精测通过制定长期发展规划，加强团队建设，优化人才队伍结构，实现半导体前道量检测设备的技术突破及产业化。目前，上海精测在上海及武汉地区共有员工600余人，其中研发人员占比60%，硕博占比40%，专业涵盖光学、机械半导体、电气半导体、软件、电子电路、算法等多个领域，具备了完整的自主研发能力。团队汇聚了拥有丰富行业经验的资深技术及管理人才，在各技术领域均具备极强的竞争力。

　　除了加强自身团队建设，上海精测还与华中科技大学、复旦大学等多家知名研发机构、大学院校开展产学研合作，共同开发前沿纳米级检测量测解决方案b体育，提升国内半导体检测装备行业的技术水平。截至目前，上海精测已累计申请164件发明专利，包括1件PCT国际申请专利，2件中国台湾专利申请，3件韩国专利申请，1件日本专利申请，并已获得49件发明授权专利。

　　据了解，近年来上海精测获得认定国家专精特新小巨人企业、国家高新技术企业、上海市专精特新企业、上海市企业技术中心、“长三角数字干线”青浦区高新技术研发中心、青浦区企业技术中心、青浦区专利试点企业。未来，上海精测将持续加大技术开发以及技术成果转化的力度，将已有的纳米分析手段向更高精度开发，以适应下一代工艺制程的量检测需求。同时拓展技术领域，向更高的成像精度以及更低的电磁波波长测试领域发展，加速追赶、持续推出优质产品。始终坚守核心技术自主可控的发展战略，竭力满足客户需求，并协同上下游产业资源，合力推动国产半导体设备产业进步。b体育